半導體石墨模具的制造工藝

半導體石墨模具的制造工藝
    制造半導體石墨模具通常選用化學氣相堆積（CVD）法。此辦法是在高溫下，經(jīng)過特定氣體在石墨基底上堆積出石墨層，然后進行切割和研磨，最終得到所需的石墨模具。此外，熱解法制備石墨模具也是一種常見的辦法，它經(jīng)過熱解有機前驅體，得到石墨材料，然后進行后續(xù)的加工處理。